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技術分析(製造・検査装置)

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NI、TEL、FormFactorなど4社が5Gミリ波用ウェーハテスタを開発

NI、TEL、FormFactorなど4社が5Gミリ波用ウェーハテスタを開発

第5世代の携帯通信5Gのサービスが始まったものの、まだサブ6GHzの低い周波数でのスタートとなった。National Instrumentsは、本命のミリ波での半導体RFチップをテストするため、東京エレクトロン、FormFactorReid-Ashmanと組み、5GのRFチップのウェーハをテストできる装置を開発した(図1)。 [→続きを読む]

格段に使いやすくなった任意波形ファンクションジェネレータ

格段に使いやすくなった任意波形ファンクションジェネレータ

半導体チップに任意のアナログ波形を2チャンネル分入力でき、しかも27万円台からという低価格の任意波形ファンクションジェネレータAFG31000をTektronixが発売した。9インチの液晶ディスプレイにタッチスクリーンセンサを重ねているため、スマホのようにタッチ・ズーム・スワイプ動作が可能であり、リアルタイム波形モニタとしても使える。 [→続きを読む]

Keysight、110GHzを直接計測できるオシロを開発

Keysight、110GHzを直接計測できるオシロを開発

Keysight Technologiesが“超”ハイエンドなリアルタイムオシロスコープを発表した。Infiniium UXRシリーズは、最大周波数帯域がミリ波の110GHz、1Tbpsの超高速データレートを測定できるという優れもの。逓倍器なしで直接ミリ波を測定できる。Keysightはもともと超高周波に強いHewlett-Packardの流れを組む計測器メーカーだけに技術を鼓舞したといえる。 [→続きを読む]

半導体後工程でのIndustry 4.0をシンガポールInfineonが明らかに

半導体後工程でのIndustry 4.0をシンガポールInfineonが明らかに

Infineon Technologiesがシンガポールにある同社の後工程工場のIndustry 4.0すなわちスマート工場化を進めていることを明らかにした。同社シンガポール工場長でバイスプレジデントを務めるLaurent Filipozzi氏は、スマート化とデジタル化を進めることによって生産効率を上げるだけではなく、市場への出荷期間が短くなり、管理もしやすくなったとしている。 [→続きを読む]

消費電力を増やさず排気時間を20%短縮した真空ポンプ

消費電力を増やさず排気時間を20%短縮した真空ポンプ

アルバックは、消費電力を上げずに大気圧から10Paの真空に排気する時間を41秒と短縮したドライポンプを開発、2018年1月から発売する。この真空ポンプは半導体製造には粗引きポンプとして使えるほか、電子部品製造向け、食品、衣料、宇宙産業などの用途も狙っている。 [→続きを読む]

IGBTの高速化に向け2種類のイオン注入装置をアルバックが発売

IGBTの高速化に向け2種類のイオン注入装置をアルバックが発売

半導体製造装置もニッチ市場で勝負する時代といえそうだ。アルバックは、IGBTパワー半導体に特化した加速エネルギーが2keV〜30keVと低い加速電圧と、最大2400keVと極めて高い加速電圧の2種類のイオン注入装置を発売する。それぞれ浅い、深いpn接合を作るのに使う、両極端のニッチ向け装置だ(図1)。 [→続きを読む]

Tektronix、RF測定のための100万円台のネットワークアナライザ

Tektronix、RF測定のための100万円台のネットワークアナライザ

ワイヤレス通信に必須のRF回路の特性を評価するためのテスターとして、ネットワークアナライザが有効だが、これまでの半額以下という100万円台の製品(図1)がTektronixから発売された。sパラメータや周波数軸のスペクトルデータを最大6GHzまで測れるという優れモノ。 [→続きを読む]

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