3月の駆け込み需要を実証する6月の半導体製造装置の販売額
2014年6月の日本製半導体製造装置の受注額は前月比8.3%減の1063億8600万円、販売額は28.7%減の1009億4500万円、そのB/Bレシオは1.05となった(図1)。3月から5月まで販売額は1400億円前後で推移していたためB/Bレシオは0.82あたりを示していた。 [→続きを読む]
製造装置
AMAT、3D構造のFinFET、NANDフラッシュに向け新CMPとCVDを発表
Applied Materialsは、ロジック向けのFinFETプロセス、メモリ向けの3D NANDフラッシュプロセスという大きな二つの3次元構造(図1)を実現するためのプロセス装置： CMP（化学的機械的研磨）とCVD（化学的気相成長）の新製品を発表した。 [→続きを読む]
日立の高効率モータのカギは応力対策
7月9日に日立製作所が発表した、効率96%と高い、アモルファス鉄心を使ったモータ(図1、2)は、材料の加工がカギだった。今回試作したモータは、国際高効率規格の最高レベルに相当するIE 5をクリアしている。これまでの最高クラスといえよう。 [→続きを読む]
2014年の半導体製造装置市場、Q3の低迷を考慮しても20.8%増
SEMIは米国時間7月8日から始まるSEMICON West 2014に先駆けて記者会見を開き、半導体製造装置の市場予測を発表した(表1)。今年の半導体製造装置の販売額は前年比20.8%増の384億ドルになり、2015年はさらに成長し10.8%増の426億ドルを超えると見ている。 [→続きを読む]
EUVリソグラフィ光源、100Wが射程内に
EUVリソグラフィ光源メーカーのギガフォトンは、最大出力92WというLPP（レーザー生成プラズマ）光源試作機を開発した。従来のLPP光源は43Wだったため、2倍以上のパワーを得たことになる。 [→続きを読む]
半導体製造装置の受注額･販売額とも高値安定だが、直近は要注意
2014年5月の日本製半導体製造装置の受注額・販売額・B/Bレシオは、それぞれ1160億4500万円、1416億700億円、0.82という結果だった。これらの数字は3ヵ月の移動平均。4月からの消費増税に向けて3月に現れたピークが駆け込み需要だとすると、5月までの3ヵ月間に渡って影響が出ることになる。 [→続きを読む]
シリコン面積の推移、リップルを描きながら緩やかに成長
2014年第1四半期におけるシリコンウェーハの出荷面積は、前期比で7%増の23億6400平方インチになったと、SEMIは発表した。これは前年同期比でも11%増である。ここ1年程度、足踏み状態にあったシリコンの面積は、ようやく上向きに転じた。 [→続きを読む]
半導体製造装置の受注額は依然好調、販売額は駆け込み需要の影響大
2014年4月における日本製半導体製造装置の受注額は少し後退、1158億5100万円となり、販売額は1397億5100万円、B/Bレシオは0.83と2カ月連続1.0を切った。これをどう見るか。3月の駆け込み需要の影響はどうなるか。 [→続きを読む]
東芝、3次元NANDフラッシュ専用の設備導入に投資
東芝が四日市工場の第2棟を建て替え、3次元構造のNANDフラッシュの専用設備を設置する拡張スペースを確保する、と5月14日のプレスリリースで発表した。その日の朝、日本経済新聞は、1Tビットを5年以内に製造すると報じている。東芝はSanDiskと共同で投資を行い、合計5000億円の投資になると日経は伝えている。 [→続きを読む]
微細化と共に開発コストは上がらないという現実、いつまで続くのか
微細化するにつれ、マスクコストをはじめとして開発コストはうなぎのぼりに上昇すると常に言われてきた(図1)。しかし、現実はずっと少ないコストで開発してきた。この違いをセミコンポータル提携メディアのSemiconductor Engineeringが分析している。 [→続きを読む]
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