ミニマルファブ、LED光源のリソ装置でMEMSカンチレバーを作製
ミニマルファブのプロジェクトが組織化され、昨年12月のセミコンジャパンにおいて初めて装置のモックアップが展示された。今どこまで進展したのか。その第1回の報告会とも言うべき「ミニマルファブ・シンポジウム2013」が東京品川で開催された。 [→続きを読む]
MEMS･アナログ
1チップMEMS CMOS ICのクロック発生器をSiLabsが製品化
Silicon Laboratories社は、CMOS ICとMEMS振動子をモノリシックに集積したオシレータを製品化した。MEMSラストのプロセスで製造、振動子としてSiGe薄膜を用いたことでSiよりも機械的強度が強く、急冷･急熱や衝撃にも強いため、±20ppmの周波数安定性を10年間保証する。 [→続きを読む]
MEMSの2012年トップ20社ランキング、IHSグローバルが発表
米市場調査会社のIHSグローバル（旧アイサプライ）は、ファウンドリを除くMEMS企業のトップ20社2012年ランキングを発表した(表1)。これによると、トップはドイツのBoschとスイスのSTMicroelectronicsで、いずれも7億9300万ドルと同額。MEMS産業は世界全体で、前年比4.8%増の83億4200万ドル規模に成長した。 [→続きを読む]
Bluetooth Smart規格がスマホのアクセサリ市場を牽引する
Bluetooth Smart Readyがアンドロイドフォンにも搭載されることが決まった。Bluetooth Smartは、低消費電力版であるBluetooth Low Energy（BLE）の発展版として生まれた。今、Bluetooth Smart、Bluetooth Smart Readyという規格が注目されている。この新規格Bluetooth Smartとは何か。BLEとの違いを含めて、これらを整理してみる。 [→続きを読む]
MEMSでバリコン、2mm3のリードスイッチを実現・商品化するベンチャーと老舗
かつて、バリアブルコンデンサと呼ばれる、ラジオチューナ用の可変キャパシタがあった。空気を絶縁体として用い、向かい合わせた金属板の片面だけを機械的に回転させることで金属板が向かい合う面積を変え容量を変えるというもの。MEMSを使って金属板間の距離を変えて可変キャパシタを実現する企業が現れた。リードスイッチ企業もMEMSで超小型にした。 [→続きを読む]
企業向けから民生用途へと広がり、MEMSの売上トップにSTマイクロが浮上
MEMS技術の民生応用が活発になり、MEMSメーカーの売上ランキングが変わってきた。2012年のMEMS売上ランキングでは、STマイクロエレクトロニクスがトップになり、その売上額が初めて10億ドルの大台に乗った。民生用のスマホやタブレットに採用されている慣性センサ（加速度やジャイロ）が増えてきたことがその背景にある。 [→続きを読む]
今後のMEMS産業の拡大に向け日本企業にもぜひ参加を
Noah I. Himberger氏、米MEMS Industry Group Program Director 米国にはMEMSの業界団体、MEMS Industry Group（通称MIG）がある。MEMS産業を活発にするための集まりだ。そのProgram DirectorをしているNoah I. Himberger氏から電話をいただきMIGの目的やミッションなどを聞いた。 [→続きを読む]
