世界のMEMS関連市場、2010年には950億ドル規模に

　MEMSデバイスは、コンシューマーエレクトロニクス向け用途が牽引して、2005年の53億ドルから、2010年は99億ドルへと、年平均成長率13%が期待される。MEMSデバイスには、プレッシャーセンサー、加速度計、ジャイロスコープ、マイク、DMD、マイクロ流体装置などが含まれる。

　MEMS用の製造装置・材料は2005年の10億ドルから2010年には16.3億ドル規模になると見られている。特に材料は、年平均成長率15%が予想され、3.8億ドルから7.7億ドルに成長するものと期待されている。MEMS材料市場を牽引するのは基板であり、材料全体の70%を占める。MEMS装置の大部分は中古の半導体正座欧装置であるが、200mmライン移行にあたっては、エッチング、ボンディング装置など、一部で新規設備の使用が期待されている。

　MEMS産業は、携帯電話のMEMSマイク、ゲーム機の加速度計、TVのオプティカルMEMS、時間設定用の水晶発信機代替のMEMS共振器、そして近い将来実現するとみなされる、マイクロ燃料電池など、新しいアプリケーションが牽引すると見られている。