藤野　佳宏氏、株式会社荏原製作所　営業統括部コンポーネント営業推進室長
南部　勇雄氏、株式会社荏原製作所　営業統括部マーケティンググループ長

半導体製造装置に使うポンプや排ガス処理装置、CMP装置などを製造する荏原製作所。これまでの実績から、全て省エネや低消費電力などを追求してきた。その最新の姿をセミコンジャパンで見せた。同社の狙いを聞いた。(動画あり)。

これからは、FO-WLP（ファンアウト・ウェーハレベルパッケージング)のようにパッケージングとプロセスの境があいまいになってくる。パッケージ技術へどう取り組むか、2016年への期待も含めて語っている。（撮影は2015年12月）

インタビュー 一覧（敬称略）

• 中村　修　SEMIジャパン　代表
• 東　哲郎　東京エレクトロン　代表取締役会長兼社長（当時）
• 馬立　稔和　ニコン　常務執行役員　半導体装置事業本部長
• 吉田　芳明　アドバンテスト　取締役常務執行役員　企画・渉外担当
• 吉永　晃　ディスコ　専務執行役員営業本部長
• 南部勇雄/藤野佳宏　荏原製作所　営業統括部
• 米村　浩二　東芝セミコンダクター&ストレージ社企画部企画担当参事
• Dan Tracy　SEMI Industry Research & Statistics部門シニアディレクタ