バラつきの少ない装置・材料を〜セミコンジャパン2015特別インタビュー
米村 浩二氏、株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社企画部企画担当参事
セミコンジャパンは半導体製造装置や材料メーカーが出展する展示会。期待される来場者は装置や材料を購入する半導体メーカーの製造部門エンジニア。NANDフラッシュで四日市工場に巨大な設備を持つ東芝は、セミコンジャパンに何を期待するのかを聞いた。(動画あり)。
かつてプロセスエンジニアだった東芝S&S社企画部企画担当参事の米村浩二氏は、装置は生き物だから揺らぎを捉えてバラつかないように半導体エンジニアは作業しているが、装置に対してもバラつきの少ない装置に期待する。さらにもう一つの要求や2016年に向けたメッセージにも触れている。(撮影は2015年12月)
インタビュー 一覧(敬称略)
- 中村 修 SEMIジャパン 代表
- 東 哲郎 東京エレクトロン 代表取締役会長兼社長(当時)
- 馬立 稔和 ニコン 常務執行役員 半導体装置事業本部長
- 吉田 芳明 アドバンテスト 取締役常務執行役員 企画・渉外担当
- 吉永 晃 ディスコ 専務執行役員営業本部長
- 南部勇雄/藤野佳宏 荏原製作所 営業統括部
- 米村 浩二 東芝セミコンダクター&ストレージ社企画部企画担当参事
- Dan Tracy SEMI Industry Research & Statistics部門シニアディレクタ
(2016/01/25)