VLSI リサーチ社ランキング

米国VLSIリサーチ社による恒例のカスタマー満足度別半導体装置メーカーランキング2007において、大手半導体製造装置前工程メーカーTop10に、日本のメーカーが昨年同様５社入ったことがこの度VLSIリサーチ社から発表された。

日本からは日立ハイテクノロジーズ、大日本スクリーン製造、東京エレクトロン、日立国際電気、ニコンの５社がTop10にランキングした。Top10には、Varian Semiconductor、Novellus、Lam Researchの米国企業3社、ASML、ASM Internationalの欧州企業2社が入った。
VLSIリサーチ社の調査は、世界の半導体製造装置バイヤーの95%をカバーするカスタマー企業の個人宛(48255名強)に配布されており、分野別にカスタマーサティスファクション度によりランキングが発表されている。
ランキングは、13項目に評価総合によるもので、13項目には、プロセスサポート、フィールドエンジニアリングサポート、スペアーパーツサポート、アフターサポート、技術指導、確約などのカスタマーサービスに関わる６項目、Cost of Ownership（COO）、アップタイム、実スループット、ソフトウエア、ビルドクオリティ、成果の品質、製品性能などの装置性能性に関する7項目が含まれる。

なお、この調査に参画したユーザーの地域分析は、北米が29.9%、欧州が20.5%、中国が12.9%、台湾が8.4%、日本が8.1%、韓国が6.0%、その他14.3%となっている。