2010年第1四半期における半導体製造装置のトップ10ランキングが明らかになった。米市場調査会社のVLSI Research によると、トップはこれまで通りアプライドマテリアルズと変わらないが、第2位は東京エレクトロン（TEL）が第3位のASMLをわずかの差でかわした。ただし、前期2009年第4四半期はTELが3位だった。

出典：VLSI Research社

2位、3位争いは熾烈を極める。2007年にはTELが第2位で、ASMLが第3位だったが、2008年はASMLが2位でTELは3位に落ちていた。2009年にTELが2位に返り咲き、2010年第1四半期の段階ではTELが2位をキープしたという訳だ。

前期（2009年第4四半期）と比べて、トップ10社の中で伸び率が最も高かったのはテスターメーカーのテラダインである。46%増の2億8970万ドルに達した。次いで伸び率の高かったのはアプライド、TEL、ニコン、ラムリサーチ、となった。欧州のASMLとASMインターナショナルはドルに対してユーロ安の影響で、ドルベースに換算すると負の影響が表れた。逆に日本のメーカーは円高に振れたためドルベースでは有利な数字となっている。

半導体製造装置全体でみれば、2010年第1四半期は104億ドルと43%増となった。VLSI Researchは2010年全体では、前年比95.8%増の476億ドルに達すると見ている。