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消費電力を増やさず排気時間を20%短縮した真空ポンプ

アルバックは、消費電力を上げずに大気圧から10Paの真空に排気する時間を41秒と短縮したドライポンプを開発、2018年1月から発売する。この真空ポンプは半導体製造には粗引きポンプとして使えるほか、電子部品製造向け、食品、衣料、宇宙産業などの用途も狙っている。

図1 排気速度を高めた粗引きポンプLS120 出典:アルバック

図1 排気速度を高めた粗引きポンプLS120 出典:アルバック


真空技術をコアとするアルバックは、粗引きから超高真空までポンプの製品ポートフォリオを揃えてきた。超高真空では、スパッタイオンポンプやチタンゲッタポンプの10のマイナス9乗という製品まである。今回の製品は超高真空ではなく、10Pa程度にとどまる。アルバックは発表資料を紙ベースだけで電子ファイルを配布せず、会見での写真撮影も禁止しているため、アルバックの持つ製品ポートフォリオの図をこの場で見せられないが、低真空から高真空まで揃えている企業ではある。

今回のドライ真空ポンプは、外形寸法が310(W)×650(D)×310(H)mmのLS120から、310(W)×650(D)×600(H)mmのLS1200までの製品を揃え、排気速度は、最大120m3/時から1200m3/時となっている。最も小型・低価格の製品LS120で、容積100リットルのチャンバを大気圧から真空の10Paまで引くのに41秒と従来機よりも約20%短縮した。その時の消費電力は0.6kW(600W)以下だとしている。

ポンプは、回転軸にスクリューのネジ溝を設けた軸を2本搭載したタイプだとしているが、それ以上のことは特許申請中で、語らない。

電子部品関係では、プリント回路基板の張り合わせ用途や洗浄用、フレキシブルエレクトロニクスでは、有機フィルムの保護膜形成用ロール-ツー-ロール(R2R)装置システムの用途を狙う。販売計画は、初年度200台、2019年度には1500台を目標としている。販売価格は150万円から300万円。

(2017/09/07)

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