米国の半導体装置業界動向調査会社であるVLSI Researchは、1988年以来、毎年、世界半導体製造装置メーカー顧客満足度調査を世界中の半導体工場のユーザー対象に大規模に実施しており、この種の調査としては半導体業界唯一である。　この度、同社より「2024年版半導体製造装置顧客満足度ランキング・トップ10」情報を入手することができたので紹介しよう。

図1　TechInsightsから送られる顧客満足度調査のベストサプライヤ賞

これまで同社は、米国の半導体市場動向調査会社IC　Insightsとともにカナダの有料会員向け半導体情報提供会社であるTechInsightsに買収されてしまって以来、従来のような容易な情報入手が困難になっていた。調査方法については注1を参照していただきたい。

（1）総合ランキング
この調査は大手半導体製造装置メーカー（表1）と中堅メーカー(表2)に分けて集計された総合ランキングと、前工程、後工程、サブシステムなど細分化されたカテゴリー別ランキング（表3〜8）で構成されている。

大手半導体製造装置メーカー顧客満足度ランキング・トップ10には、日本勢として、5社がエントリした。1位（昨年も1位）アドバンテスト、5位（昨年4位）東京エレクトロン、6位（昨年7位）KOKUSAI ELECTRIC　（旧日立国際電気）、9位（昨年10位）キヤノン、10位（昨年9位）日立ハイテクである。昨年もこの5社がトップ10に入っていた。トップ10社の本社所在国別内訳は、日本5社、米国2社、シンガポール1社、英国1社、オランダ1社、日本の大手半導体製造装置メーカーが圧倒的な顧客満足度の高さを示している。特に、アドバンテストは、過去5年連続で顧客満足度トップを維持しているは特筆に値しよう。

また、中堅半導体製造装置メーカー顧客満足度ランキング・トップ10には、日本勢として、6位に荏原製作所、7位に樫山工業、10位にニコンが入った。日本勢は、昨年はゼロ、2022年には堀場製作所が6位に入っていた。

表1 　2024年大手半導体製造装置メーカー顧客満足度ランキング・トップ10　出典：TechInsights

中堅半導体製造装置メーカー顧客満足度ランキング・トップ10（表2）には、日本企業として、6位に荏原製作所、7位に樫山工業、10位にニコンが入っている。

表2　2024年中堅半導体製造装置メーカー―顧客満足度ランキング・トップ10　出典：TechInsights

　
なお、TechInsightsは、総合ランキングのほか、製品分野別顧客満足度ランキング（大手.中堅メーカーを含めた総合ランキング）も以下のように発表している。表彰対象は7.0点以上の特典が得られた企業のため、トップ10に必ずしも10社が入っていない。各カテゴリーの参入企業が少ない場合も同様にトップ10が数社にとどまっている。

（2）カテゴリー別ランキング

表3　前工程（ウェーハ処理工程）装置顧客満足度ランキング・トップ10　出典：TechInsights

表4　大手半導体メーカー向け半導体製造装置顧客満足度ランキング・トップ7　出典：TechInsights

表5　特殊技術専業中堅半導体メーカー向け半導体製造装置顧客満足度ランキングトップ5　出典：TechInsights

表6　アッセンブリおよび最終テスト装置顧客満足度ランキング・トップ4　出典：TechInsights

表7　テストサブシステム顧客満足度ランキング・トップ2　出典：TechInsights

表8　前工程（ウェハ処理工程）サブシステム顧客満足度ランキング・トップ7

堀場製作所は、2022年には、中堅半導体製造装置メーカー顧客満足度ランキングで6位に入っていたが、昨年、24年とも得点が足らず、圏外となった。しかし、カテゴリー別の前工程（ウェーハ処理工程）サブシステム顧客満足度ランキングでは7位に入った。8位以下は7点に満たなかったため、トップ10は7位までとなっている。SCREENが、どのランキングにも登場していないのが気がかりである。

注
1. 調査方法
顧客満足度調査方法は、2024年の春に2ヵ月半にわたって、英語、日本語を含む5つの言語で世界中の多数の半導体製造装置ユーザーに向け、装置サプライヤを「サプライヤのパフォーマンス」、「顧客サービス」、「製品のパフォーマンス」という3つの主要な要素に基づき、「技術的リーダーシップ」「結果品質（Quality of results）」「フィールド・サポート」「信頼性」「パートナーシップ」「販売後のサポート」など14項目に対する調査を依頼した。世界中から得られた1800通以上の回答をそれぞれの項目を10点満点で集計し、7.0点以上を獲得した企業をベストサプライヤと認定したとしている。