日本政府がベルギーimecと技術提携交渉、さらには研究所を日本に誘致か

野原氏はまず、Intel CEOのGelsinger氏はじめ著名人の半導体の将来性に関する名言を紹介した後で、「"No EUV、No Future. No future for Japanese Semiconductor Supply Chain."　(EUVリソグラフィ技術なくして半導体の未来はない。EUVなき日本のサプライチェーンには将来はない)」という名言（迷言?）を紹介し、「これは、いったい誰の言葉だと思いますか」と聴衆に問いかけた。（図1参照）

図1　半導体の将来に関する名言集　出典：imec Technology Forum 2022における野原氏プレゼン資料

半導体関係者には当たり前ともいえる内容だが、誰もそんな言葉自体は知らなかった。そこで野原氏は、"It‘smy words（それは私の言葉です）"と述べて笑いを誘った。

imecは、EUV露光装置を所有しており、さらにはASMLと次世代EUVリソグラフ技術に関する共同ラボを設立して高NA（=0.55） EUV技術の実用化をめざしていることは、周知の事実であるが（参考資料1）、野原氏は、「このimec/ASML2社と私たちが連携することは、将来の日本の半導体産業を構築するために必須（essential）だと私は強く確信している。私たちとimecは両者の関係を深めあってウィン・ウィンの関係を築いていきたい」と述べた。

更に、野原氏は、「我が国は米国と次世代半導体で共同開発をすることを政府レベルで決まってはいるが、何も米国だけに限ったことではなく、他の国や地域との連携も受け入れることにやぶさかではなく、（米国との関係とは）相補的な連携を構築していきたい」と述べ、imecとの連携にむけて積極的に取り組んでいることをうかがわせた。

次に、新たに誕生したRapidus社（参考資料2）の代表取締役社長に就任した小池淳義氏が、「将来の半導体製造: 微細化の課題に適応するインテリジェントなファブとスマートな製造装置」と題して講演した。小池氏は「先頭を走るライバルから10〜20年遅れた最先端半導体開発及び製造を日本で行う」（同氏の発言）上で、日米欧のアライアンスの必要性を強調し、IBMだけではなくimecとの技術提携（実際には有償技術導入か?）にも意欲を見せた（図3参照）。東京大学の黒田忠広教授のグループも、imecと先端半導体技術提携にむけ協議していることを明らかにした。

図2　日米欧協業による2nm技術開発について話す小池社長　（著者撮影）

2nm超プロセスにはASML-imecの高NA EUV が必要

野原局長が言われるまでもなく、2nmプロセス開発・製造にEUVリソグラフィ装置は必須である。現在、日本では誰も持っていないため、IBMから技術導入することが決まっている。しかし、IBMのEUV装置は旧型の研究・試作用に過ぎず、しかもIBMはすべての半導体工場をGlobalFoundriesに譲渡してしまって量産技術は持っていない。一方、imecはASMLやTSMC、Samsung、 Intelはじめ世界の一流参加企業と一体になってEUV リソグラフィ技術と取り組んでおり、さらには多数駐在する半導体企業の研究者が知恵を出し合って高NA（開口数：Numerical Aperture）EUV露光装置の早期実用化を目指している。Beyond 2nmには、ASML/imecが共同研究中の高NAのEUV露光装置が必要になる（図3参照）。

図3　ASML/imecのリソグラフィロードマップ：Beyond 2nmでは、EUV（NA=0.33）から高NA EUV（NA=0.55）へ　出典：imec Technology Forum 2022）

imecの最先端半導体技術研究所を日本に誘致か

産官学関係者の話では、日本政府は、EUV技術導入のためにimecと技術提携するだけではなく、imecの最先端半導体研究所を日本に（おそらく台湾TSMCジャパン3DIC R&D Centerのように筑波の産業総合研究所の敷地内に）誘致する交渉が水面下で行われていると言われている。

imecはすでに海外に研究所をいくつも持っているので、日本への進出も不自然ではない。例えばオランダには、ヘルスケア関係の研究所があるし、米国のフロリダには、フォトニクスの研究所がある。過去には、成功が危ぶまれていた国家プロジェクトを成功に導くため、経産省傘下の組織がimecを日本へ誘致して同じ経産省傘下の研究所と共同研を設立する話か密かに進められたことがあったが、条件が折り合わず立ち消えになった。

IBMだけではなく、imecが日本の半導体ロジック産業の復興に向けてどのように寄与するのか注目されている。

参考資料
1. 服部毅、「ムーアの法則は1nm以降も延命へ、imecとASMLが次世代露光技術の開発で協業」、マイナビニュースTECH+ (2020/11/27)
2. 服部毅、「日本の先端半導体製造会社『Rapidus』の会長に東哲郎氏、社長に小池淳義氏が就任」、マイナビニュースTECH+ (2022/11/11)