中国国産の半導体製造装置、いよいよ立ち上げへ

　北京中科信電子装備有限公司の孫勇副総経理は、「企業が革新の主体であり、継続的な革新こそ衰退期に陥ることはない」と示している。中国の半導体製造装置メーカーは、既存の製造装置に基づいて、新しい技術や新しい知識を活用して、中国製品の品質・性能を日々革新してきた。

　今回、100nm の大角度イオン注入装置の開発に成功したことで、これまで海外勢に独占されていたハイエンド半導体製造装置市場に参入することが可能となり、中国の半導体製造装置産業を向上させた。また、現状0.18um から0.13um、90nm へと移行する際に、中国製半導体製造装置の利用が実現できた。孫副総経理によると、この100nm大角度イオン注入装置は、すべて自前の技術を用いて、初の中国製8 インチイオン注入装置の製造が実現、初めて中国製イオン注入装置による大量生産とテストが成功、イオン注入装置の全自動コントロール機能が実現・・・など。

　北京七星華創電子の微電子設備子会社、盛金竜総経理によると、自社の半導体製造装置の技術革新により、PECVD 設備の開発に成功したという。同社は、薄膜関連の製造技術と製造装置に取り組んでおり、応用分野が従来のIC 産業から太陽電池分野へと拡大している。同社は、製造装置を開発する際に、海外製品を専らに参考にし、世界の技術レベルと同等の製品開発に追い付いてきた。

　中国製の半導体製造装置は、北方微電子と北京中科信電子の快挙、そして中国の国家政策と資金面の支えにより、更なる進化と革新が見られる。

セミコンダクタポータルのコンテンツパートナー、アレグロ　インフォメーション・インク(以下アレグロ)による、中国のエレクトロニクス・半導体・液晶分野のマーケット情報です。アレグロは、同社独自の調査及び、中国国家統計局、CCID、中国電子報、経済参考報、国際金融報などから得たフレッシュな情報をベースに、特に中国のIT、エレクトロニクス、半導体・液晶関連の情報収集・提供、分析、調査を行っています。今回、提供したのは、同社の月刊レポート「中国レポート：Electronics and Semiconductor China」の2007年5月号からの一部抜粋です。