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プラズマダイシング工程以降でパナソニックとIBMが協業

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パナソニックコネクティッドソリューションズ(CNS)社と日本IBMは、半導体後工程の分野で提携した(図1)。これは、パナソニックの持つ後工程のプラズマダイシング装置とプラズマクリーナ装置にIBMのFDC(故障予知管理)ソフトウエアを組み込んだ装置システムの開発を目指すもの。



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