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Infineonの2番目の300mmウェーハ工場がオーストリアに完成

ドイツInfineon Technologiesがオーストリアのフィラハに建設していた300mm完全自動化の新工場を稼働させた(図1)。9月17日(同日日本時間20時30分)にオープニングセレモニーを開催、セレモニーの最後に、クリーンルームから完成ウェーハを持ち出して駆け付けるというデモまで披露した(参考資料1)。300mmの薄いウェーハを生産するが、2022〜23年のEVや再生可能エネルギー需要拡大を予想して建設した。

図1 Infineonのオーストリアフィラハ工場 奥に見えるのが新300mmライン 出典:Infineon Technologies

図1 Infineonのオーストリアフィラハ工場 奥に見えるのが新300mmライン 出典:Infineon Technologies


Infineonは、予定よりも3ヵ月前倒しで工場を完成させた。新工場は天井にウェーハトラックを配備した完全自動化工場としている。しかも生産工程の自動化をAIで支援しており、CO2を出さない工場でもあるという。この工場は人間の髪の毛(通常は70〜100µm)よりも薄い300mmウェーハ(厚さ40µm)をプロセス処理する工場であることを何度も強調しており、その目的はパワー半導体の量産である。特にIGBTはクルマやエネルギーなどモーターを駆動するデバイスだ。

これに関して同社CEOのReinhard Ploss氏は、「Infineonはモビリティ(自動車や電車、航空機などの輸送手段)やエネルギー効率を上げるための半導体で成長してきた。これまで経営危機があったが長期的な視点で投資してきた。新工場で何を作るかは、製品と応用で決まる。EVやソーラー、風力など高電圧で少ないロスが求められる分野、デジタル化とそのための電源に向けた応用、さらに地球温暖化という大きなロスにも挑戦している。300mmの薄いウェーハは成長を続けるためのカギとなる」と述べている。

欧州で半導体の新工場を設立したことはEU(European Union:欧州連合)も大歓迎している。EUは、2030年に現在の半導体のシェア10%を20%に引き上げるという目標を持っているからだ。EUコミッショナーのThierry Breton氏はビデオ出演して「半導体は全ての産業で欠かせない重要な製品となっている。クルマや航空機、スマートフォン、パソコンなどあらゆるものに欠かせない。しかし、今は半導体不足だ。産業だけではなく社会的にも半導体はとても重要だが、今はまだ供給が追い付いていない。EUはこの新工場を強く歓迎する」と述べている。そして、「フィラハの新工場は欧州の野心そのものであり、半導体産業における欧州のキャッチアップが始まった」と表現している。

300mmの薄いウェーハはポテトチップのように曲がってしまい、手で持つことはできないため、ウェーハを支持する透明なパッケージに入れて、オープニングセレモニーの前に開催された記者会見の場で手に持って見せた(図2)。


300mmの薄いウェーハを手にするInfineon 関係者 左からInfineon Technologies Austria社のCEOであるSabine Herlitschka氏、Infineon Technologies CEOのReinhard Ploss氏、COOのJochen Hanebeck氏

図2 300mmの薄いウェーハを手にするInfineon 関係者 真ん中がInfineon Technologies CEOのReinhard Ploss氏、右がCOOのJochen Hanebeck氏、左がInfineon Technologies Austria社のCEOであるSabine Herlitschka氏 出典:Infineon Technologies


オープニングセレモニーでは、テープカットではなく、関係者がそれぞれスマホを手に持ち、アプリで開いたスイッチボタンの画面をタッチすることで、ビデオでオープンするという映像が流れてきた。新型コロナを避ける意味と、ハイテクのセレモニーを印象付けるという二つの意味があった。また今回Infineonは、「Ready for Mission Future(重要な使命の将来への準備)」という標語を掲げ、半導体が将来を担うデバイスであることを訴求している。

参考資料
1. "Infineon opens high-tech chip factory for power electronics on 300-millimeter thin wafers", Infineon Technologies (2021/09/17)

(2021/09/22)
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