Call for paper

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Scope of the Symposium

この論文募集のお知らせは、プロセス産業に関連する全ての方にご案内しています。
半導体デバイスメーカーの前工程のみならず、後工程及び、LCDやPVなどのプロセス産業のコンテンツに深く関わっている装置メーカー、ソフトウエアベンダ、センサー・メトロロジサプライヤなどで従事される皆様を始め多くの皆さまからの論文投稿をお待ちしています。

CFP(日本語)

Important Dates

論文投稿開始: 2017年5月29日(月)
論文投稿期限: 2017年7月10日(金)8月7日(月)
採択可否通知: 2017年8月24日(水)8月31日(木)
最終プレゼン資料提出期限: 2017年10月20日(金)(採択者のみ)

Areas of Interest

当シンポジウムは以下のセッションにて構成される予定です。(投稿される論文数、傾向を勘案しますので、一例としてご参照ください)

Online Submission

Topics on Contents related to processes and equipment

Equipment and Process Control methodology:
Productivity & Tool Optimizations:
Model-based Process Control:
Tool Data Acquisition and analysis:
Back-end process:

Topics on fab level

Data Collection, Management and Analysis:
Control methods:
Benefit of APC application:
APC Integration:
IT infra structure for APC:
APC strategy:
Solar devices, Flat panels, LEDs, MEMS: