Call for paper

Scope of the Symposium

この論文募集のお知らせは、プロセス産業に関連する全ての方にご案内しています。
半導体デバイスメーカーの前工程のみならず、後工程及び、LCDやPVなどのプロセス産業のコンテンツに深く関わっている装置メーカー、ソフトウエアベンダ、センサー・メトロロジサプライヤなどで従事される皆様を始め多くの皆さまからの論文投稿をお待ちしています。

CFP(日本語)

Important Dates

論文投稿開始: 2019年5月31日(金)
<延長>論文投稿期限: 2019年7月9日(火)
2019年8月7日(水)
採択可否通知: 2019年8月30日(金)
最終プレゼン資料提出期限: 2019年10月18日(金)(採択者のみ)

AEC/APC Symposium Asia 2019 テンプレート

AEC/APC Symposium Asia 2019 テンプレート

Areas of Interest

当シンポジウムは以下のセッションにて構成される予定です。(投稿される論文数、傾向を勘案しますので、一例としてご参照ください)

装置とプロセスの制御法 (Equipment and Process Control)
FDC (Fault detection and classification)
SPC (Statistical process control)
Run-to-runコントロール (Run-to-run Control)
RMS (Recipe Management System)
モデルベース制御 (Model-based Process Control)
物理モデル (Physical and chemical process models)
ソフトセンサ (Soft sensor)
バーチャルメトロロジ (Virtual metrology)
装置データ収集と解析(Tool Data Acquisition and Analysis)
データ収集 (Data collection)
センサ開発 (Sensor development)
不良、歩留り解析 (Failure and Yield Analysis)
統計解析 (Statistical approaches)
ビッグデータ向け解析技術 (Bigdata Analysis)
AI,機械学習 (AI, Machine Learning)
装置品質保証 (Enhanced equipment quality Assurance)
APC戦略 (APC Strategy)
将来ニーズとロードマップ (Future Needs and opportunities)
SDGs (Sustainable Development Goals)
標準化(Standard)
領域拡大 (Region Expansion)
後工程 (Back-end process)
MEMS (MEMS)
ディスプレイデバイス (Display device)
ソーラーパネル (Solar panel)
電池 (Battery)

Online Submission