プログラムスケジュール
| 9:15 | 受付開始 ドアオープン |
| Session Chair: 村田製作所 平井 都志也 | |
| 9:45 | 開会の辞 西村 英孝 ルネサスエレクトロニクス |
| 9:50 | プログラムアウトライン 柿沼 英則 キオクシア |
| 9:55 | Tutorial-1 データの相互運用性のためのセマンティックWeb技術：オントロジー、スキーマ、Linked Data教授 武田 英明氏 国立情報学研究所 View Abstract |
| Session Co-chairs: ユナイテッド・セミコンダクター・ジャパン 槌谷 孝裕 / ケーエルエー・テンコール 西部 泉一 | |
| 10:40 | [TDA-O-13] 傾斜光照射による高精度In-situ膜厚検出 Soichiro Eto 日立製作所 View Abstract |
| 11:00 | [TDA-O-14] トレンチ断面積予測モデルを用いたRIE装置管理 Xueting Wang 東芝デバイス&ストレージ View Abstract |
| 11:20 | [TDA-O-15] Wafer warpage classification adapted to pragmatic equipment operation Motoi Okada 東京エレクトロン View Abstract |
| 11:40 | [TDA-O-20] 高調波センサを用いたウェハ搬送部の機械学習型劣化診断 Kenta Kamizono パナソニック View Abstract |
| 12:00 | 昼食休憩・ブース展示 |
| Session Chair: アズビル 黒澤 敬 | |
| 12:55 | Introduction for Posters ( 3mins Summary Presentation) |
| [TDA-P-12] Improving Root Cause Analysis Accuracy Using Advanced Sensor Trace Analytics Tom Ho BISTel America View Abstract |
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| [TDA-P-24] Performance Evaluations of VM models of Multi-dimensional quality: Open data applications Huizhen Bu 筑波大学 |
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| [TDA-P-25] Digitalization of Factory utilized embedded Artificial Intelligence (e-AI) 大野 俊樹 ルネサスエレクトロニクス株式会社 |
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| Session Chair: ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング 澁木 俊一 | |
| 13:10 | Keynote ソニーのCMOSイメージセンサーの未来とそのものづくり技監 ID開発部門部門長 門村 新吾氏 ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社 View Abstract |
| Session Co-chairs: 東京エレクトロン 田中 尚人 / パナソニック・タワージャズ セミコンダクター 田中 知哉 | |
| 13:55 | [TDA-O-11] Optimizing Production Performance Through Trace-level Chamber Analysis Tom Ho BISTel America View Abstract |
| 14:15 | [TDA-O-22] Robust Estimation of Mixed-Type Wafer Map Similarity Utilizing Non-negative Matrix Factorization Yukako Tanaka キオクシア View Abstract |
| 14:35 | [TDA-O-23] Integrated 2D quality VM modeling: Upscaling and evaluations of High-dimension Low-samples Huizhen Bu 筑波大学 |
| 14:55 | [MPC-O-17] Endpoint Prediction for ICP Etching Process with Smart VM Method Junya Nishiguchi アズビル View Abstract |
| 15:15 | ブース展示・コーヒーブレイク |
| Session Chair: 日本アイ・ビー・エム・サービス 堀本 耕 | |
| 15:40 | Tutorial-2 SEMI Standardを活用したセキュリティ強化とオペレーション指向のレシピ管理シニア・アーキテクト 大石 修氏 日本アイ・ビー・エム・サービス株式会社 View Abstract |
| Session Co-chairs: 東京エレクトロン 坂本 浩一 / 東芝デバイス&ストレージ 長嶋 一高 | |
| 16:25 | [EPC-O-18] Adaptive Re-tuning of PID Parameters by Health Indexes Naotoshi Taniguchi アズビル View Abstract |
| 16:45 | [EPC-O-19] Cu-CMP向けVM-APC自動実行システムの構築 Masatoshi Ikeda ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング View Abstract |
| 17:05 | [EPC-O-21] In-house development of Lithography Metrology Tools Recipe Validation System to ensure Recipe Integrity and Data feedforward to Process APC Systems Yap Hoon Lian Global Foundries View Abstract |
| 17:25 | [APC-O-16] All roads leads to the Environment George Hoshi 東京エレクトロン View Abstract |
| 17:45 | Closing |
| Session Chair: 東京エレクトロン 坂本 浩一 | |
| 18:00 | ポスターセッション、オーサーズインタビュー、出展 |
| 18:30 | レセプション、ベストペーパーアワード 柿沼 英則 キオクシア |
| 19:30 | Closing |
