プログラムスケジュール

(プログラムは変更の可能性があります)

- AEC/APC Symposium Asia 2017 Poster Session

9:15 Registration Starts / Door Open
9:30 Opening Remarks from AEC/APC Asia
Hidetaka Nishimura
Renesas Electronics
9:35 Program Outline
Hidenori Kakinuma
Toshiba Memory
Session Chair: Takahiro Tsuchiya, MIE Fujitsu Semiconductor
9:40
Tutorial-1
機器・設備予知保全におけるデータ分析方式について
Prof. Makoto Imamura
Tokai University
Session Co-chairs: Toshiya Hirai, Murata Manufacturing / Takashi Kurosawa, Azbil
10:25 [DA-22] スパースモデリングによる自動変量抽出と高精度な仮想検査モデルの構築
Yuri ISHIZAKI
University of Tsukuba
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10:45 [DA-18] スパースモデリングによるウェハ品質管理のための自動要因解析システム
Masaaki Takada
Toshiba
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11:05 [MT-10] グレーボックスモデルによるロバストFDC
Yuko Jisaki
Panasonic Industrial Devices Engineering
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11:25 [MT-23] 深層学習による新しい異常検出手法の確立
Takayoshi Konatsu
Sony Semiconductor
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11:45 Lunch Break & Supplier Exhibition
Short Presentation for interactive poster seesion(12:40~12:55)
Session Chair: Shunichi Shibuki, Sony Semiconductor Manufacturing
12:40 Introduction for Posters (3mins Summary Presentation )
[BE-21] 電子線照射によるパターニンググラフェン作製に関する研究
Shotaro Kuzukawa / Koki Matsumasa
Kumamoto University
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[PO-20] パルス光伝導法による非破壊界面準位密度測定
Shotaro Kuzukawa / Takahiro Ono
Graduate School of Science and Technology Kumamoto University
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[DA-24] クリーンルームにおける相関法を用いた風向風速測定法に関する研究
Shotaro Kuzukawa / Ryoma Katayama
Kumamoto University
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[MT-12] Practical Approach to Further Reducing False Alarms in Dynamic Fault Detection
Tom Ho
BISTel
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Session Chair: Hidenori Kakinuma, Toshiba Memory
12:55
Keynote
半導体デバイスの微細化継続を可能とする装置制御技術
Toshihiko Nishigaki
Tokyo Electron
Session Co-chairs: Tomoya Tanaka, TowerJazz Panasonic Semiconductor / Hisato Tanaka, Tokyo Electron
13:40 [MT-15] リソグラフィのフォーカス性能向上のためのショット毎Focus&Tilt-XY補正技術
Shinji Eto
Toshiba Memory
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14:00 [MT-11] 制御システムにおける効果的な正規化応答性の活用
Naotoshi Taniguchi
Azbil
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14:20 [BA-13] Real-time Wafer Inventory Quality Assessment Using FDC Data
Tom Ho
BISTel
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14:40 [MT-16] E-Diagnostics and FDC Implementation on Process Equipment
Eric Dunton, Keishi Sonoda
TEL NEXX, Inc.
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15:00 Supplier Exhibition / Coffee Break
Session Chair: Hidetaka Nishimura, Renesas Electronics
15:40
Tutorial-2
半導体製造工程における能動的な管理図管理
Prof.Ken Nishina
Nagoya Institute of Technology
Session Co-chairs: Koichi Sakamoto, Tokyo Electron / Hirofumi Tsuchiyama, Renesas Semiconductor Manufacturing
16:25 [IN-28] Process Flow Artificial Intelligent for Highly Diversified Products in Pure Foundry Wafer Fab
Kimmy Ang
Global Foundries
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16:45 [MT-14] The Advanced Monitoring Method for the Residual Charge in Wafer
Tsuyoshi Yokogaki
Renesas Semiconductor Manufacturing
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17:05 [PO-19] パルス光伝導法によるシリコン酸化膜中の微量金属汚染評価
Shotaro Kuzukawa
Graduate School of Science and Technology Kumamoto University
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17:25 [TD-17] サファイア隔膜真空計による安定計測と異常検知の可能性
Masaru Soeda
Azbil
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18:00 Reception (Poster Session / Author's Interview/ Supplier Exhibition)
Koichi Sakamoto, Tokyo Electron
18:30 Closing Remarks & Best Poster Award & Best Paper Award and Student Award
Hidenori Kakinuma, Toshiba Memory
19:30 Closing