論文投稿画面/Submission Page
第14回「集積化MEMSシンポジウム」/The 14th Integrated MEMS Symposium
発表論文題目(日本語)/Title of Paper (English)
申込時のタイトルがプログラムに掲載され、変更できません。（締め切り終了前まで変更可）
言語で英語を選択した場合は、発表論文項目（日本語）*とTitle of Paper(English)*の両方に英語タイトルを記入してください。
Title of paper cannot be changed after submission and will appear as is in the program. (Title of paper can be changed until submission deadline)
If you select English language, fill English title in both "発表論文項目（日本語）*" and "Title of Paper(English)*".
発表論文題目(日本語)
*
Title of Paper (English)
*
論文言語
*
Language of paper
日本語 / Japanese
英語 / English
著者名/Authors
申込時の著者名がプログラムに掲載され，変更できません。（締め切り終了前まで変更可）
Authors cannot be changed after submission and will appear as is in the program. (Authors can be changed until submission deadline)
筆頭著者(1)
*
Primary Author(1)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(2)
Author(2)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(3)
Author(3)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(4)
Author(4)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(5)
Author(5)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(6)
Author(6)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(7)
Author(7)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(8)
Author(8)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(9)
Author(9)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(10)
Author(10)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(11)
Author(11)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(12)
Author(12)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(13)
Author(13)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(14)
Author(14)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
著者(15)
Author(15)
姓
名
所属機関
Last Name
First Name
Affiliation
発表者/Presenter
発表者/
Presenter
*
著者(1)/Author(1)
著者(2)/Author(2)
著者(3)/Author(3)
著者(4)/Author(4)
著者(5)/Author(5)
著者(6)/Author(6)
著者(7)/Author(7)
著者(8)/Author(8)
著者(9)/Author(9)
著者(10)/Author(10)
著者(11)/Author(11)
著者(12)/Author(12)
著者(13)/Author(13)
著者(14)/Author(14)
著者(15)/Author(15)
E-mail
*
例)info@ieej.or.jp
誕生日/
Birthday
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(年月日/YYYY-MM-DD)
発表分野/Topic of Paper
1. 成膜技術および新材料
2. エッチング及び犠牲層除去技術
3. プロセス技術，CMOS-MEMS技術，集積化技術，プロセス材料
4. 3D形成技術，TSV，再配線，平坦化，貼り合わせ技術
5. バイオデバイス，μTAS，生体用関連デバイス，生体材料
6. RF-MEMS技術，エネルギーハーベスト技術，アクチュエータ
7. NEMS，ナノツールおよび機能性メンブレン技術
8. IoT，ウェラブル端末用デバイスとシステム
9. デバイス設計，回路設計，シミュレーション，統合設計技術およびCAD関連
10. 実装技術
11. 信頼性および評価技術
12. その他（環境，省エネ，農業関連デバイス）
論文委員会において発表分野を変更する可能性があります。
The area of your paper may be changed through the discussion at the program committee members.
発表形式/Preference of Presentation
オーラル/Oral
ポスター/Poster
どちらでも良い/Oral or poster
連絡者情報/Name of Contact Person
日本人の方は日本語で記入して下さい。
連絡者名
*
姓/
Last Name
名/
First Name
〒/
Postal Code
*
例)102-0076
住所/
Address
*
例)東京都千代田区五番町6-2HOMAT HORIZON 8F
所属/
Affiliation
*
所属部門・研究室名
*
Department/Laboratory
電話番号/
Phone Number
*
例)03-3221-3714
E-mail
*
例)info@ieej.or.jp
E-mail（再入力）
*
例)info@ieej.or.jp
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