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Infineon、2番目の300mmウェーハ工場を完成〜SPI会員限定Free Webinar(9/30)

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SPI会員限定Free Webinar:ウェブだけではお伝えしきれないような重要なニュースを分析し、一つのテーマをウェビナーでより深堀していきます。

【概要】
ドイツのInfineonがオーストリアに2番目の300mmウェーハ処理工場を設立、稼働を開始しました。稼働開始を今年の年末を予定していましたが、最近の半導体不足を受け、3カ月前倒しして稼働にこぎ着けました。Infineon関係者だけではなく、オーストリア政府やフィラハ市長、EC委員も駆け付け、半導体産業の重要さを口々に述べていました。その様子をレポートします。

【議論のポイント】
・Infineonがオーストリアに300mm工場稼働
・パワー半導体の見通し
・オープニングセレモニー
・完全自動化
・欧州の応援

【開催日】
2021年9月30日 13:30

【Q&A】
動画にQ&Aも収録されています。ここでは当日、時間内に回答できなかったものを紹介しています。

・40ミクロンは今後どこまでさらに薄くなりそうでしょうか?
40ミクロンという数字は、ハンドリングしやすさと可能な限り薄くしたいこととの最適値(妥協値?)です。出来る限り薄くしたいことはやまやまですが、アセンブリ工程でのハンドリングで割れてしまっては何にもならないので、これ以上薄くすることはかなり難しくなると思います。アセンブリ工程での自動化の改善がどこまで行くかによると思います。

・SiとSiCの値差はどのくらいまできてるでしょうか?
Siに対してSiCは10倍以上の価格が違います。SiCはSiと違って液状のチョクラルスキー法は使えませんので、直接昇華法による気相成長ですので、時間かかかると共に転位が入りやすく結晶欠陥もSiの10倍以上あります。また、例えウェーハができたとしても、プロセス温度はSiよりも数百度高くしなければなりませんので、扱いにくい材料でもあります。このため価格をどこまで下げられるかが問題で、Siの2~3倍程度にまで抑えられれば、ブレークする可能性があります。

・Sicは何インチ300mmではないですよね?Sicは何処で生産でしょうか?モジュールは何処か?
SiCはこれまで6インチが入手可能になっていますが、STMicroelectronicsが8インチを製造したという話も出てきたレベルです。インフィニオンはSiCのMOSFETやモジュールなども生産していますが、生産場所は公開していません。また、これまでは一般的にCreeなどからウェーハを購入していましたが、昨年11月にGT Advanced Technologiesを買収し、自社生産しているようです。

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