台湾半導体メーカーが選んだベスト装置メーカーは独アイクストロン

　同社は、GaN系、InGaAsP系の有機金属を材料として薄膜を成長させる化合物半導体用のMOCVD装置に特化したメーカーで、処理するサセプターとウェハーが独自に回転する自公転方式を採用しているのが特徴で、均一性の優れた成膜を実現している。

　VLSI Research社が行った本調査は、台湾メーカーに装置を納入している64社の装置メーカーを対象としたもの。

　上位20位の中には、日本メーカーが7社エントリーしている。2位のセイコーエプソン、5位のアドバンテスト、7位の日新イオン機器、8位の東京精密、9位の東京エレクトロン、11位の荏原製作所、17位の大日本スクリーン製造である。

　本調査のレーティングは、10点満点で、13項目のカテゴリーで、カスタマーとサプライヤーとの関係を採点するもの。13項目には、COO、アップタイム、ソフトウエア、クオリティ構築、実際のスループット、成果の質、製品パフォーマンスといった、７つの装置パフォーマンスと、プロセスサポート、フィールドエンジニアサポート、スペアパーツサポート、アフターセールスサポート、テクニカルリーダーシップ、ユーザーへのコミットメントなど６つのカスタマーサービスが含まれている。