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半導体製造装置の重要部品サプライヤトップ10ランキング

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半導体製造装置に強い市場調査会社のVLSI Research社は、2015年の、半導体製造装置に使うバルブやポンプなどの重要な部材やサブシステムのサプライヤトップ10社を発表した。これによると、この分野は海外勢が強く、日本からは7位に堀場製作所、10位に荏原製作所が入った。

図1 半導体製造装置のカギとなるサブシステムサプライヤのトップ10社 出典:VLSI Research

図1 半導体製造装置のカギとなるサブシステムサプライヤのトップ10社 出典:VLSI Research


VLSI Researchはこれまで、優秀なサプライヤ、顧客の評判の良いサプライヤ、などのランキングを発表してきたが、基準を明らかにせず、残念ながら報道されることが少なかった。今回のように売上額といったわかりやすい指標であれば、採り上げやすい。

2015年の製造装置のサブシステムのトップメーカーはCarl Zeiss社SMT(Semiconductor Manufacturing Technology)部門でその売上額は10億ドルに達している。元々、光学レンズに強いCarl Zeissは、EUVオプティクスをはじめ、エキシマレーザリソグラフィ用の光学系やフォトマスクのリペア装置やマスク検査装置、ガス分析器などが得意な企業だ。前年もトップをキープしていた。

第2位のEdwardsは真空ポンプに強いサプライヤで、売上額は6億3000万ドル。3位がMKS Instruments社で5億4000万ドルと続いている。4位のBrooks Automation、5位のAdvanced Energy、と1位から5位までは昨年と順位は変わっていない。

日本勢として、堀場製作所、荏原製作所とも前年よりも順位を一つ落としている。ただし、VLSIは2014年の売上トップ10を発表していない。

(2016/04/20)

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