活発なSiCパワー半導体：結晶新工場の建設、MOSFET企業の買収

図1　onsemiのSiC結晶製造新工場テープカット　レモンド商務長官（中央ピンクの洋服）と上下院各2名ずつが参加　出典：onsemi

SiCは高耐圧と低オン抵抗を両立させられることから、EV（電気自動車）だけではなく、EV急速充電器や再生可能エネルギー設備（風力やソーラーなどの発電機や蓄電池設備）では欠かせなくなっている。現在のSiCのTAM（Total available market）市場は2021年の20億ドルから26年には65億ドルへと急成長するとonsemiは見ているが、調査会社や企業によってバラつきがある。Infineon Technologiesの決算報告のプレゼンテーション資料中ではTAMは11.37億ドルというYole Developpementの資料を紹介している（図2）。

図2　Yole DeveloppementとInfineon TechnologiesがみるSiC市場は2011年に11.37億ドル　出典：Infineon Technologies

パワー半導体とセンサに強いonsemiは、これまでシリコンのIGBTにフォーカスしてきたが、昨年SiC結晶やサファイヤ結晶を手掛けているGT Advanced Technologiesを4億ドルで買収、SiC結晶供給不安を解消した。今回、買収したGTATの工場を拡張し、生産能力を5倍に増大、工場の従業員も4倍に増やすとしている（参考資料1）。生産能力の拡大により、今後3年間で40億ドルの売上額を約束する、と8月上旬に開かれた決算報告の中でonsemiは述べている。パワー半導体トップのInfineonが2020年代半ばには10億ドルの売上額が見えてきた、と表現することとは対照的だ。

Onsemiは、SiC結晶作製のための炭化シリコン粉末やグラファイト材料、SiCデバイスをパッケージングする材料まで、SiCデバイスに必要なサプライチェーンを全て揃える。立ち上がり始めたSiCデバイスやモジュールなどのソリューションに対応する。

今回の工場開所式にはレモンド長官をはじめ、米国議会の上院議員が2名と下院議員2名も参加しており、onsemiと米国議会が半導体製造に力を入れていることがわかる。もちろんonsemi側もCEOのHassane El-Khoury（ハッサーン・エルコーリー）氏が先頭に立って案内している。先日発行されたCHIPs法案による補助金を当てにした新工場とみられる。

SiCと並んで化合物パワー半導体として期待されているGaNは、Navitas SemiconductorとPower Integrationsが過半数を占めているが（参考資料2）、NavitasがSiCも手に入れることになった（参考資料3）。Navitasが買収するGeneSiC Semiconductorは、SiC MOSFETをはじめとするSiC製品を提供する米国のメーカー。

Navitasは、GeneSiCの買収により2022年の売上額は2500万ドルになると期待する。特許で保護された開発力を持つGeneSiCと、世界各地にマーケティングと営業体制を築くNavitasが協力することで、新会社はさらに成長するとGeneSiCの社長のRanbir Singh氏は見ている。

NavitasのGaNパワーICは、モバイル急速充電器に使われ、効率の良さから充電器の小型化に貢献している。PMIC（パワーマネジメントIC）に強いPower Integrationsと並んでGaNではトップを行くが、GaN市場はまだ小さい。SiC市場ももちろん小さいが、インフィニオンテクノロジーズジャパンのIPC事業部門は、毎年倍々で伸びている、と表現する（参考資料4）。GaNもSiCもようやく立ち上がり始めたといってよいだろう。

参考資料
1. "onsemi Celebrates Expansion of Silicon Carbide Production Facility in New Hampshire", onsemi (2022/08/11)
2. 「GaNパワーデバイスの世界ランキング、トップはNavitas社」、セミコンポータル (2021/10/06)
3. "Navitas Semiconductor, Industry-Leader in Gallium Nitride Power ICs, Announces Acquisition of GeneSiC Semiconductor, Silicon Carbide Pioneer", Navitas (2022/08/15)
4. 「オン抵抗7mΩまで削減した1200V のSiC MOSFETをInfineonが開発」、セミコンポータル (2022/04/21)