EUVが離陸、ASMLが1兆円企業突破

図1　ASMLの売上額の推移　単位は百万ユーロ(1ユーロ＝135円)　出典：ASML

半導体リソグラフィ装置の最大企業となったASMLの売り上げは2016年が同社の史上最高の67億9500万ユーロ（9170億円）だったが、2017年は軽く1兆円を突破した。半導体製品別では、最も大きいのがメモリで29億6800万ユーロ、次がすでに設置された装置の保守・運用サービス売り上げで26億7900万ユーロ、ファウンドリは22億8900万ユーロとなっている。

リソグラフィ装置の製品用途別の受注は、2017年第3四半期にメモリが77%、ファウンドリは9%という比率で、メモリが圧倒的に高かったが、第4四半期にはメモリの比率が55%と減り、ファウンドリが30%に跳ね上がった。売上額は第3四半期の21億5400万ユーロから第4四半期には29億3500万ユーロと伸び、微細化をけん引するファウンドリへの納入が増えたことは、EUV装置が本格的に出荷されることを表している。

波長13.5nmのX線を利用するEUVリソグラフィは2017年の第4四半期に4台出荷され、売り上げには5台計上されている。2017年に計画されたEUV装置の出荷台数12台のうち、1〜12月に10台を出荷し、残り2台のうち1台は出荷準備中、残りの1台は2018年1月に出荷予定となっている。EUV装置に計上された売り上げは11億ユーロに達した。

2017年のEUVリソグラフィ装置の販売額のうち、第4四半期にEUV装置5台分、第3四半期に同4台分を売上計上している(図2)。EUVの出荷台数は2017年後半から急速に増加している。EUV装置のスループットは125枚/時以上、平均的なアベイラビリティは平均90%以上の製品を出荷することをコミットしている。

図2　EUV装置が2017年後半から続々出荷された　出典：ASML

また最近10台のEUVを受注し、受注残は28台に跳ね上がった。これは30億ユーロ以上の価値に相当するという。2018年には22台の出荷を計画し、2019年には30台以上を出荷するとみている。

2018年第1四半期における全社売上額は22億ユーロを予定しており、EUVはそのうちの1億5000万ユーロだとしている。2017年末時点での受注残はEUVも含めて全部で66億8500万ユーロにも達するとしている（図3）。

図3　受注残にはEUV装置が最も多い　出典：ASML

EUV装置の受注残はArF装置よりも第3、第4四半期とも45%、46%と大きく、EUVはようやく本格的な実用期を迎えることになる。