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450mmウェーハ研究開発の中心が、SEMATECHからG450Cへ

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450mmウェーハ研究開発の中心が、これまでのISMI SEMATECHからG450C(Global 450mm Consortium)に移ることが決まった。米ニューヨーク州立大学教授の平山誠氏が、6月26日に東京・品川で開かれたSEMATECH Symposiumで明らかにした。

図1 ニューヨーク州立大アルバニー校CNSEキャンパス 出典:CNSE

図1 ニューヨーク州立大アルバニー校CNSEキャンパス 出典:CNSE


G450Cは、ニューヨーク州とニューヨーク州立大学CNSE(College of Nanoscale Science and Engineering:ナノスケール科学技術学部)が中心となって資金と場所を提供、民間企業であるIBM、インテル、TSMC、サムスン電子、グローバルファウンドリーズが出資したグローバルな官民の研究開発共同プログラムだ。できるだけコストの安いテストウェーハプロセスのインフラや、試作装置、量産装置を作り出すことである。これによって450mmウェーハの産業界への移転をスムーズにできるという。活動拠点はCNSEを中心とする。

2011年9月27日に発表があった時(参考資料1)、出資金は総計48億ドル、このうちニューヨーク州が4億ドルを負担するとしていた。共同開発と総合的な産業界のエコシステムをサポートするために、CNSEが技術を確立する。

G450Cの目標は、ニューヨーク州/CNSEが450mmの開発のリーダーになることを世界に認めさせること、だという。そのために必要な目標を定義している。5年以内には、産業界に移転するための450mm技術(装置やインフラ)を確立すること。さらにその先には、先端半導体プロセスモジュールを開発するための装置をCNSEに設置し、稼働させる、という目標もある。G450Cでは、スタッフを養成し、プロセス技術開発プログラムを実行するエンジニアをサポートする。

ニューヨーク州が大規模な投資と企業誘致を進める背景は、雇用の創出にある。役所が税金を使って何年間のプロジェクトを行うのではない。ベンチャーキャピタルのように最初に投資し、技術を確立した後は、ベンチャーなり既存の企業なり、自律的にお金を回せる市場経済の企業になってもらうことが目的だ。このために持続的に成長できる企業に雇用を生ませる。地方政府が出資したお金は後になって税金として回収できる。

ニューヨーク州立大学は、米国エネルギー省(DoE)とも組み、PVMC(Photo Voltaic Manufacturing Consortium:太陽電池製造組合)プログラムも始めた。これは、SEMATECHとCNSEの共同プログラムでCIGS(Copper, Indium Gallium, Selenium)をベースにする薄膜ソーラーシステムを作る。5年間で2億8000万ドル投資し、そのうちDoEは5700万ドルを投資する。設置コストの目標を1ドル/ワットとしている。この場合も研究開発・製造のイノベーションエコシステムを確立する。

参考資料
1. 米NY州に半導体メジャー5社が44億の大型投資で合意、450mm推進 (2011/0929)

(2012/06/28)

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